CEZAMAT wzmacnia zaplecze fotoniki. Nowy system EVG®6200 NT do litografii nanoimprint
CEZAMAT rozbudowuje infrastrukturę badawczą w obszarze mikro- i nanotechnologii. Do laboratoriów ośrodka trafił system EVG6200 NT do litografii UV nanoimprint (UV-NIL), dostarczony przez EV Group.
Inwestycja została zrealizowana w ramach Krajowego Planu Odbudowy (KPO), w projekcie Centrum Kompetencji Mikroelektroniki i Fotoniki.
System EVG6200 NT umożliwia wytwarzanie mikro- i nanostruktur o wysokiej rozdzielczości, kluczowych dla zastosowań w fotonice i mikroelektronice. Łączy zaawansowaną technologię pozycjonowania masek z procesami litografii UV-NIL, pozwalając na odwzorowanie struktur o dużej złożoności i topografii.
Zastosowana technologia SmartNIL opiera się na wielokrotnym wykorzystaniu elastycznych matryc, co zwiększa wydajność i umożliwia skalowanie procesów. To istotne z punktu widzenia przejścia od badań do zastosowań przemysłowych.
W laboratoriach CEZAMAT urządzenie będzie wykorzystywane do replikacji i skalowania opracowanych struktur mikro- i nanometrycznych. Obejmują one m.in. elementy optyki dyfrakcyjnej oraz komponenty mikrooptyczne, takie jak soczewki, falowody i siatki dyfrakcyjne. Znajdą zastosowanie w układach fotonicznych, detektorach oraz systemach optyki swobodnej. To obszary kluczowe dla rozwoju nowoczesnej elektroniki i technologii komunikacyjnych.
– Ta inwestycja zwiększy nasze możliwości technologiczne, wzmocni współpracę z partnerami i umocni pozycję CEZAMAT jako wiodącego ośrodka badań nad nanotechnologiami – podkreśla Piotr Wiśniewski, kierownik Działu Inteligentnych Systemów Półprzewodnikowych (SEMINSYS).
Dostawca systemu, EV Group, wskazuje na rosnącą rolę Europy jako centrum innowacji w obszarze półprzewodników i fotoniki.
– Instytucje takie jak CEZAMAT odgrywają kluczową rolę w rozwoju technologii kolejnej generacji – zaznacza Thomas Glinsner, dyrektor ds. technologii w EV Group.
CEZAMAT działa jako multidyscyplinarne centrum badawczo-rozwojowe, łączące naukę z przemysłem. Rozwija kompetencje w zakresie półprzewodników, fotoniki, mikroelektroniki oraz biotechnologii.
Nowa inwestycja wpisuje się w szerszy trend wzmacniania europejskiego zaplecza technologicznego w strategicznych obszarach dual-use. Rozwój takich kompetencji ma kluczowe znaczenie dla budowy suwerenności technologicznej i konkurencyjności przemysłu.
O firmie EV Group (EVG)
EV Group dostarcza zaawansowane rozwiązania procesowe i know-how wspierające rozwój nowoczesnych układów półprzewodnikowych oraz technologii integracji chipów. Strategia firmy opiera się na rozwoju nowych technik oraz wspieraniu zastosowań technologii kolejnej generacji w mikro- i nanofabrykacji, co pozwala klientom skutecznie komercjalizować innowacyjne rozwiązania.
Portfolio EVG obejmuje rozwiązania gotowe do zastosowań w produkcji wielkoseryjnej, w tym technologie łączenia płytek półprzewodnikowych, litografii, obróbki cienkich struktur oraz systemy metrologiczne. Technologie te wspierają rozwój skalowania procesów półprzewodnikowych (front-end), integracji 3D i zaawansowanego pakowania układów, a także znajdują zastosowanie w elektronice i fotonice.
Zapraszamy na nasze nowe wydarzenie, Hardware Forum 2026, 14-15 maja 2026. Zapisz się już dziś i skorzystaj z oferty early bird:
